Исследование нанослоев Al2O3, синтезированных на пористом SiO2 - диплом по физике

 

Тезисы:

  • Спектры поглощения аморфного Al2O3 [13] и 13 нм пленки Al2O3, выращенной на пористом SiO2.
  • На рисунке 13а представлены Si L2,3 - спектры отражения пористого SiO2, б-кварца и аморфного SiO2.
  • Ширина пика b последовательно увеличивается в ряду б-кварц, аморфный, пористый SiO2.
  • Одним из многообещающих low-k диэлектриков является пористый диоксид кремния [1] .
  • Отмеченные закономерности позволяют с уверенностью сделать вывод о сплошности пленок Al2O3.
  • В спектре массивного am-Al2O3 [13] . Данные спектры приведены вместе на рисунке 20.
  • Кристаллическая структура полимофных модификаций SiO2.
  • Кристаллическая структура полиморфных модификаций Al2O3.
  • Диоксид кремния SiO2.
  • В частности сегодня возникла следующая трудность.
Читать онлайнСкачать диплом

 

 

Похожие работы:

Еще похожие работы

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные дипломы по физике