Исследование процессов 3D-структурирование в электронной литографии - диссертация по программному обеспечению, программированию

 

Тезисы:

  • В первой части описывается новый метод 3D-структурирования, основанный на электронной литографии.
  • Создание же штампа осуществляется методом электронной литографии.
  • Технология электронной литографии развивается на протяжении длительного времени.
  • В первой главе описываются методы электронной литографии и типы применяемых резистов.
  • Электронные Резисты И Их Применение Для 3d- Структурирования.
  • Одной из основных методик создания микро- и нано- структур является электронная литография.
  • Результаты исследования зависимости контрастности резиста от температуры проявителя.
  • Излагаются основные принципы и характеристики проявления электронных резистов.
  • Такой материал называют электронным резистом.
  • Электронные резисты делятся на позитивные и негативные.
Читать онлайнСкачать диссертацию

 

 

Похожие работы:

Еще похожие работы

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные диссертации по программному обеспечению, программированию