Исследование поверхностей и тонкослойных покрытий методом отражательной эллипсометрии - практическое задание по прочим предметам

 

Тезисы:

  • Нуль-измерения по зонной методике на эллипсометре ЛЭФ-3М.
  • Эллипсометрический контроль поверхность отражение.
  • С этой точки зрения наиболее удобны и перспективны оптические методы.
  • Эллипсометрические углы связаны между собой.
  • Образец, подлежащий исследованию, кладется на предметный столик.
  • В случае нескольких слоев на поверхности или анизотропных структур.
  • Основное уравнение эллипсометрии.
  • 1 (рис. 2) , то коэффициенты отражения от поверхностей со слоями.
  • При однократном эллипсометрическом измерении определяется пара углов.
  • Практически измерения обычно выполняются по 2-зонной методике.

 

 

Похожие работы:

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные практические задания по прочим предметам