Оптимизация процесса плазмохимического травления на установке LAM690 - диплом по прочим предметам

 

Тезисы:

  • В дипломном проекте предлагается оптимизация процесса плазмохимического травления.
  • Для получения анизотропии процесса травление стимулируют бомбардировкой положительными ионами.
  • Клавиша START - предназначена для запуска установки в процессе.
  • В экспериментальной части описаны результаты исследований по оптимизации режима травления.
  • 1 Сущность плазмохимического травления.
  • 3 Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления.
  • Рисунок 2.1 - Внешний вид установки LAM690.
  • Не требует обработки после процесса травления.
  • Плазмохимический травление плазменный фотолитография.
  • При плазменном травлении в качестве рабочих используются галогеносодержащие газы.
Читать онлайнСкачать диплом

 

 

Похожие работы:

Еще похожие работы

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные дипломы по прочим предметам