Свойства оксидных покрытий, полученных с помощью дуального магнетрона - диплом по физике

 

Тезисы:

  • Цель работы - выявление зависимостей свойств оксидных покрытий от конструктивных особенностей МРС.
  • Овладеть методикой нанесения оксидных покрытий и провести измерения их свойств.
  • Объектом исследования являются пленки оксида титана, полученные с помощью различных конструкций МРС.
  • Нанесение оксидных пленок с помощью различных конструкций при одинаковых режимах напыления.
  • Всех этих недостатков лишена дуальная магнетронная система [7] .
  • Это расположение известно как Дуальная Система Магнетрона (DMS) или Твин - магнетрон.
  • Конструкция дуального магнетрона представлена на рисунке 1.2.
  • Рисунок 1.2. - Конструкция дуальной магнетронной системы с дополнительным элементом.
  • Как сказано выше, оптическая толщина полученного покрытия составила 631,5нм.
  • Для покрытий диоксида титана очень важной характеристикой являются их оптические свойства.
Читать онлайнСкачать диплом

 

 

Похожие работы:

Еще похожие работы

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные дипломы по физике