Методи одержання і вимоги до діелектричних плівок - Курсовая работа (Теория) по физике

Тезисы:

Існує ряд методів одержання тонких діелектричних плівок.
Одним із найкращих методів одержання діелектричних плівок є термовакуумне напилення.
Для формування плівок двоокис кремнію використовують декілька методів осадження.
Схематично зображена установка для напилення плівок термовакуумним методом.
Б показана схема основної частини установки для напилення діелектричних тонких плівок.
Осадження плівок широко використовується при розробці елементів сучасних інтегральних схем.
Багато є також методів змішання, які бувають більш вдосконаленими.
Великою перевагою методу іонно-плазмового розпилення є його неінерційність.
Якщо відключити напругу розпилення матеріалу зразу перестає, на відміну від інших методів.
Властивості таких плівок залежить від вмісту електролітів.

Предметы

Актуальные Курсовые работы (Теория) по физике