Ультрафіолетова нанолітографія - курсовая работа (Теория) по физике

 

Тезисы:

  • Екстримальна ультрафіолетова нанолітографія.
  • Проблеми і перспективи ультрафіолетової нанолітографії.
  • Електронна променева нанолітографія.
  • 1 Механічна нанолітографія.
  • 3 Ближньопольва оптична нанолітографія.
  • В першому розділі приведений опис методів нанолітографії.
  • Основним літографічним процесом в сучасній мікроелектроніці є фотолітографія.
  • Таким способом передбачається досягнення розмірів елементів інтегральних схем 30 нанометрів і менше.
  • Рис.1.3 Фотографія атомної камери обскура.
  • Схема апертурного (а) і безапертурного (б) бліжнеполевого скануючого оптичного мікроскопа.
Читать онлайнСкачать курсовую работу (теория)

 

 

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные курсовые работы (теория) по физике