Ультрафіолетова нанолітографія - Курсовая работа (Теория) по физике

Тезисы:

Екстримальна ультрафіолетова нанолітографія.
Проблеми і перспективи ультрафіолетової нанолітографії.
Електронна променева нанолітографія.
1 Механічна нанолітографія.
3 Ближньопольва оптична нанолітографія.
В першому розділі приведений опис методів нанолітографії.
Основним літографічним процесом в сучасній мікроелектроніці є фотолітографія.
Таким способом передбачається досягнення розмірів елементів інтегральних схем 30 нанометрів і менше.
Рис.1.3 Фотографія атомної камери обскура.
Схема апертурного (а) і безапертурного (б) бліжнеполевого скануючого оптичного мікроскопа.

Предметы

Актуальные Курсовые работы (Теория) по физике