Ионные насосы в технологии MEMS - реферат по информатике и телекоммуникациям

 

Тезисы:

  • Ионные насосы с горячим катодом.
  • Ионно-сублимационные триодные насосы.
  • Ионные насосы с холодным катодом.
  • 3 Ионно-сублимационный насос.
  • Насосы объёмного типа осуществляют откачку за счёт периодического изменения объёма рабочей камеры.
  • Сорбционные явления в вакууме широко используются для откачки газов из вакуумных систем.
  • На принципе хемосорбции основана работа испарительных насосов.
  • Производительностью насоса называется поток газа, проходящий через его входное сечение.
  • Титан оседает на стенках корпуса насоса, имеющего водяную рубашку или охлаждаемого змеевиком.
  • Ионизация газа в насосе происходит под действием электронов, эмиттируемых катодом.
Читать онлайнСкачать реферат

 

 

Похожие работы:

Еще похожие работы

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные рефераты по информатике и телекоммуникациям