Источник ионов для технологических установок - статья по физике

 

Тезисы:

  • Изложены особенности работы источника ионов.
  • Рассмотрено распределение электростатических полей и состав ионов газа и металла в источнике ионов.
  • Подробнее процессы, проходящие в источнике ионов, представлены на рис.1.
  • Рис.1. Схема расположения электростатических полей в источнике ионов.
  • Глубина проникновения в поверхность зависит от энергии ускоренных ионов и имеет сложную зависимость.
  • Максимальный диаметр пучка ионов составляет 500 мм при плотности тока 5-20 мкА/см2.
  • Это свидетельствует о том, что содержание ионов металла в потоке ионов может составлять 50%.
  • Источник ион ионная имплантация.
  • Приведены экспериментальные данные по определению состава ионного пучка.
  • Внедряясь в поверхность, ионы тормозятся серией столкновений с атомами вещества.
Читать онлайнСкачать статью

 

 

Похожие работы:

Еще похожие работы

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные статьи по физике