Анализ свойств, методов получения и применение сегнетоэлектрических тонких пленок - диплом по информатике и телекоммуникациям

 

Тезисы:

  • Рисунок 2.2 - Спектры рентгенофлуоресцентного анализа пленок YSZ.
  • В работах [1, 2] пленки YSZ наносились методом ВЧ магнетронного распыления.
  • В работе [3, 4] использовался метод ВЧ магнетронного распыления мозаичных Zr-Y мишеней.
  • При этом методом магнетронного распыления наносится тонкий слой пористой платины.
  • Каждой подобласти приписан определенный набор физических свойств.
  • Установлены особенности формирования пленок твердого электролита на Si3N4/Si и Al2O3 подложках.
  • Проведены исследования компонентного состава пленок YSZ, нанесенных на поликоровые подложки.
  • Слой Ti толщиной 50 нм наносился методом магнетронного распыления.
  • Пленки наносились на Si3N4 (1000 нм) /Si (100) подложки методом ВЧ магнетронного распыления.
  • Получены зависимости проводимости слоев катодного электрода от температуры.

 

 

Похожие работы:

Предметы

Все предметы »

Актуальные дипломы по информатике и телекоммуникациям