Литография высокого разрешения в технологии полупроводников - разное по экономике отраслей

 

Тезисы:

  • Наряду с высоким разрешением достигнута приемлемая производитель-ность систем ЭЛ экспонирования.
  • Для того чтобы рентгеновская литография стала технологичной, нужно решить ряд важных проблем.
  • Высокого разрешения для формирования субмикронных изображений.
  • Литография высоких энергий делится на.
  • Перспективы развития фотолитографии.
  • Поглощение излучения высоких энергий.
  • Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия.
  • Процесс изготовления фотошаблонов важен для оптической литографии.
  • В настоящее время оригинал фотошаблона изготавливается методом ЭЛ-литографии.
  • Внутренние и взаимные эффекты близости являются главными проблемами систем фотолитографии.
Читать онлайнСкачать работу

 

 

Похожие работы:

Еще похожие работы

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные разные работы по экономике отраслей