Магнетронное напыление - курсовая работа (Теория) по физике

 

Тезисы:

  • Магнетронное напыление Ti, происходящее в среде аргона.
  • 1 Освоить процесс магнетронного напыления тонких пленок Тi.
  • В данной работе использовали модернизированную установку вакуумного напыления УВН-71-П3.
  • Основными элементами установки вакуумного напыления, упрощенная схема которой представлена на рис.
  • Затем заслонка открывается, и напыление ведется непосредственно на пластины.
  • В качестве примеров можно привести снимки сечения границы раздела термически напыленного слоя Тi.
  • Имеется большой парк магнетронного оборудования, который постоянно обновляется и совершенствуется.
  • Анализ показывает, что магнетронное распыление является потенциально эффективным и в этой области.
  • Данилин Б.С., Сырчин В.К., Магнетронные распылительные системы, М.: Радио и связь, 1982.
  • Рис. 1.8 Характерные размеры напыления.
Читать онлайнСкачать курсовую работу (теория)

 

 

Похожие работы:

Еще похожие работы

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные курсовые работы (теория) по физике