Магнетронные распылительные системы - реферат по физике

  • Тип: Реферат
  • Предмет: Физика
  • Все рефераты по физике »
  • Язык:
  • Автор: Zhukov V.V.
  • Программа: Microsoft Word 9.0
  • Дата: 13 мая 2001
  • Формат: DOC
  • Размер: 316 Кб
  • Страниц: 25
  • Слов: 4939
  • Букв: 33110
  • Просмотров за сегодня: 1
  • За 2 недели: 2
  • За все время: 533

 

Тезисы:

  • Магнетронная распылительная система может работать в диапазоне давлений от 10-2 до 1 Па и выше.
  • Конструкции современных магнетронных распылительных систем весьма разнообразны.
  • 5 Данилин Б. С., Сырчин В. К. Магнетронные распылительные системы.
  • 3 Конструкции магнетронных распылительных систем.
  • Рисунок 3.6 - Конструкции магнетронных распылительных систем с переменным магнитным полем.
  • При разработке магнетронных систем с плоскими мишенями наиболее остро встает проблема их охлаждения.
  • Форма и размеры магнетронных систем могут быть самыми разнообразными.
  • Рисунок 3.1 - Конструктивные схемы магнетронных систем распыления.
  • Рисунок 3.2 - Конструкции магнитных систем магнетронных распылителей.
  • Силовые линии магнитного поля замыкаются между полюсами магнитной системы.
Читать онлайнСкачать реферат

 

 

Похожие работы:

Еще похожие работы

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные рефераты по физике