Исследование производительности работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллической мишенью - диплом по прочим предметам

 

Тезисы:

  • Магнетронная распылительная система (МРС) является одной из разновидностей схем диодного распыления.
  • Принцип действия магнетронной распылительной системы показан на рисунке 3.
  • Такие условия обеспечиваются в несбалансированных магнетронных распылительных системах.
  • Магнетрон с жидкометаллической мишенью (жидкофазный.
  • Основными элементами устройства являются катод-мишень, анод и магнитная система.
  • Магнитная система; 2 - тигель; 3 - подложка; 4 - анод; 5-мишень (А1) ; 6 - экран.
  • Катод-мишень; 2 - магнитная система; 3 - источник питания; 4 - анод.
  • В) несбалансированный магнетрон (Тип 2) .
  • Выпускная квалификационная работа содержит 39 рисунков, 6 таблиц, 27 источников, 1 приложение, 15л.
  • Вычисление коэффициента эрозии поверхности мишени.

 

 

Похожие работы:

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные дипломы по прочим предметам