Химическое осаждение из газовой фазы - курсовая работа (Теория) по прочим предметам

 

Тезисы:

  • Химический осаждение газовый реактор.
  • Доставка исходных реагентов в реакторе к граничному слою газовой фазы у поверхности подложки.
  • Такие реакторы используются для плазмохимического осаждения двуокиси или нитрида кремния.
  • Представлен плазмохимический реактор с радиальным распределением газового потока.
  • Химическое парофазное осаждение, М., Наука, 2000.
  • Газовая фаза может иметь тот же состав, что и осадок.
  • Превращение исходных реагентов в промежуточные продукты (intermediates) в зоне осаждения.
  • На рисунках показаны четыре основных типа реакторов, используемых для процессов осаждения.
  • Газовая смесь поступает с одного конца трубы и откачивается с другого.
  • Подложки устанавливаются вертикально, перпендикулярно газовому потоку, в кварцевой лодочке.
Читать онлайнСкачать курсовую работу (теория)

 

 

Похожие работы:

Еще похожие работы

Предметы

Все предметы »

 

 

Актуальные курсовые работы (теория) по прочим предметам